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真空泵的工作原理

(1)在較寬的壓力范圍內(nèi)有較大的抽速,; (2)轉(zhuǎn)子具有良好的幾何對(duì)稱性,,故振動(dòng)小,,運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn),。轉(zhuǎn)子間及轉(zhuǎn)子和殼體間均有間隙,不用潤(rùn)滑,,摩擦損失小,,可大大降低驅(qū)動(dòng)功率,從而可實(shí)現(xiàn)較高轉(zhuǎn)速,;

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(1)在較寬的壓力范圍內(nèi)有較大的抽速,;
(2)轉(zhuǎn)子具有良好的幾何對(duì)稱性,故振動(dòng)小,,運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn),。轉(zhuǎn)子間及轉(zhuǎn)子和殼體間均有間隙,不用潤(rùn)滑,,摩擦損失小,,可大大降低驅(qū)動(dòng)功率,從而可實(shí)現(xiàn)較高轉(zhuǎn)速,;
(3)泵腔內(nèi)無需用油密封和潤(rùn)滑,,可減少油蒸氣對(duì)真空系統(tǒng)的污染;
(4)泵腔內(nèi)無壓縮,,無排氣閥,。結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、緊湊,,對(duì)被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感,;
(5)壓縮比較低,對(duì)氫氣抽氣效果差,;
(6)轉(zhuǎn)子表面為形狀較為復(fù)雜的曲線柱面,,加工和檢查比較困難。
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